Термосорбционный масс-спектрометр .
Анализ остаточных газов , присутствующих в вакуумных камерах ,
основанный на различиях в их теплотах адсорбции , называется
термосорбционной масс-спектрометрией .
можно рассчитать по формуле
(1) ,
– время установления адсорбционного равновесия ;
;
–
– газа .
выбирают достаточным для того , чтобы экспонентой в выражение ( 1 )
можно было пренебречь .
.
– объем камеры .
для газов с различной температурой адсорбции происходит при различных
температурах нити , что и используется для определения состава и
количества остаточных газов .
, имеющих одинаковое массовое число .
При расшифровке масс-спектров смеси газов следует учитывать наличие на
поверхности адсорбционных центров с различной теплотой десорбции . При
этом каждый газ может иметь несколько термособционных пиков . для
повышения чувствительности прибора следует увеличивать адсорбирующую
поверхность , например путем нанесения активных адсорбентов или
травления .
Рис1. Масс-спектр , получаемый методом термодесорбционной
масс-спектрометрии
Используемая литература :
Л.Н. Розанов . Вакуумная техника .
Москва « Высшая школа » 1990 .
{ Slava KPSS }
400
300
200
25
50
75
2
3
4
5
Нашли опечатку? Выделите и нажмите CTRL+Enter