Министерство образования Российской Федерации
Томский Политехнический Университет
кафедра английского языка
и технического перевода
Магнетронные распылительные системы
выполнил: В.В. Жуков,
аспирант, НИИ ЯФ, Лаб. 23.
Научный руководитель: В.П. Кривобоков,
профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ.
Томск 2001 год.
1 Введение
Целью настоящей работы является обзор конструктивных элементов
магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение принципа
их действия и физических параметров.
Дело в том, что еще сравнительно недавно основным методом нанесения
тонкопленочных покрытий были испарение и конденсация вещества в высоком
вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие низких
скоростей осаждения и высоких радиационных воздействий на обрабатываемые
структуры использовались ограниченно. Появившиеся сравнительно недавно
магнетронные распылительные системы, позволяющие наносить как
тонкопленочные, так и пленочные покрытия в сотни микрон, позволили
существенно расширить область применения ионного распыления материалов.
В последние годы в нашей стране и за рубежом проведены научные
исследования и конструкторско-технологические разработки по созданию
широкого класса МРС, а также установок и линий (в том числе непрерывного
действия). Подобного рода установки нашли применение во многих областях
науки и техники. А целесообразность и эффективность их использования
доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все
новых более совершенных систем.
В настоящей работе на основе литературных источников сделан обзор
конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей,
кратко рассмотрены основные параметры и физические принципы работы.
Содержание
1 Введение
2 Принцип действия и рабочие параметры МРС
3 Конструкции магнетронных распылительных систем
4 Заключение
5 Conclusion
Список использованных источников
Приложение А – Рабочие и энергетические характеристики
распылительных систем
Нашли опечатку? Выделите и нажмите CTRL+Enter
