.

Магнетронные распылительные системы

Язык: русский
Формат: реферат
Тип документа: Word Doc
3 278
Скачать документ

Министерство образования Российской Федерации

Томский Политехнический Университет

кафедра английского языка

и технического перевода

Магнетронные распылительные системы

выполнил: В.В. Жуков,

аспирант, НИИ ЯФ, Лаб. 23.

Научный руководитель: В.П. Кривобоков,

профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ.

Томск 2001 год.

1 Введение

Целью настоящей работы является обзор конструктивных элементов
магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение принципа
их действия и физических параметров.

Дело в том, что еще сравнительно недавно основным методом нанесения
тонкопленочных покрытий были испарение и конденсация вещества в высоком
вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие низких
скоростей осаждения и высоких радиационных воздействий на обрабатываемые
структуры использовались ограниченно. Появившиеся сравнительно недавно
магнетронные распылительные системы, позволяющие наносить как
тонкопленочные, так и пленочные покрытия в сотни микрон, позволили
существенно расширить область применения ионного распыления материалов.

В последние годы в нашей стране и за рубежом проведены научные
исследования и конструкторско-технологические разработки по созданию
широкого класса МРС, а также установок и линий (в том числе непрерывного
действия). Подобного рода установки нашли применение во многих областях
науки и техники. А целесообразность и эффективность их использования
доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все
новых более совершенных систем.

В настоящей работе на основе литературных источников сделан обзор
конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей,
кратко рассмотрены основные параметры и физические принципы работы.

Содержание

1 Введение

2 Принцип действия и рабочие параметры МРС

3 Конструкции магнетронных распылительных систем

4 Заключение

5 Conclusion

Список использованных источников

Приложение А – Рабочие и энергетические характеристики

распылительных систем

Нашли опечатку? Выделите и нажмите CTRL+Enter

Похожие документы
Обсуждение

Оставить комментарий

avatar
  Подписаться  
Уведомление о
Заказать реферат!
UkrReferat.com. Всі права захищені. 2000-2020