Ионно-сорбционная откачка .
При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа :
внедрение ионов в объем твердого тела под действием электрического поля
и химическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками
активных металлов .
, рассоложенной внутри вакуумной камеры .
– молекулярная концентрация газа .
наблюдается для Ti , Zn при 300 … 500 К .
– максимальная и начальная концентрация плотности поглощенного газа .
.
.
, рассчитанная по приведенной формуле превышает максимально возможную в
данных условиях растворимость газа в металле , то поглощенный газ
начинает объединяться в газовые пузырьки , вызывая разрыв металла . Это
явление получило название блистер-эффекта .
Па приблизительно 300 часов непрерывной работы .
.
Во время ионной бомбардировки наблюдается распыление материала ,
сопровождающееся нанесением тонких пленок на электроды и корпус насоса .
Сорбционная активность этих пленок используется для хемосорбционной
откачки .
Распыление активного материала может осуществляться независимо от
процесса откачки , например с помощью регулирования температуры
нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется
независимо от потока откачиваемого газа .
Более экономно расходуется активный металл в насосах с
саморегулированием распыления . В этих насосах распыление производится
ионами откачиваемого газа , бомбардирующими катод , изготовленный из
активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод ,
где осуществляется хемосорбционная откачка .
Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной
пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами .
Оглавление
TOC \o “1-1” Ионно-сорбционная откачка . PAGEREF _Toc9692035 \h 1
Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной
пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами . PAGEREF
_Toc9692036 \h 3
Оглавление PAGEREF _Toc9692037 \h 4
Используемая литература : PAGEREF _Toc9692038 \h 5
Используемая литература :
Л.Н. Розанов . Вакуумная техника .
Москва « Высшая школа » 1990 .
{ Slava KPSS }
2R
S0
Smax
S
X
h
Нашли опечатку? Выделите и нажмите CTRL+Enter
