Нижегородский Государственный Университет
Им. Н.И.Лобачевского
Экономический факультет
Кафедра технологии производства
КУРСОВАЯ РАБОТА
Тема : Производство кристалла 564ИЕ10
Выполнил : Жибоедов И.В.
ЦЭП 98а
Нижний Новгород 1999
С О Д Е Р Ж А Н И Е
- Введение………………………………………………………………………………………3
- Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10……………………..3
2.1 Операция спецокисление………………………………………………………6
2.1.1 Оборудование………………………………………………………………6
2.1.2 Подготовка рабочего места и организация
трудового процесса…………………………………………………..6
2.1.3 Технологический процесс……………………………………………8
2.2 Операция удаление фоторезиста в смеси Каро…………………..9
2.2.1 Оборудование……………………………………………………………….9
2.2.2 Требования безопасности…………………………………………..9
2.2.3 Подготовка рабочего места и организация
трудового процесса…………………………………………………10
2.2.4 Технологический процесс…………………………………………..12
- Контроль электрических параметров кристалла…………….13
3.1 Оборудование……………………………………………………………………….13
3.2 Алгоритм программы разбраковки……………………………………13
Список используемой литературы……………………………………………14
1. Введение
Микросхема 564ИЕ10
Микросхема содержит два отдельных четырехразрядных двоичных счетчика. Триггеры каждого из них устанавливаются в исходное состояние (нулевое) при подаче уровня 1 на вход R. Триггеры счетчиков 564ИЕ10 переключаются в момент спада импульсов положительной полярности на входе СР при уровне 0 на входе CN. Возможна подача импульсов отрицательной полярности на вход CN при уровне 1 на входе СР. Таким образом, входы CP и CN объединены логической функцией И. При соединении микросхем 564ИЕ10 в многоразрядный счетчик с последовательным переносом выводы 8 подключаются к входам СР следующих, а на входы CN подают уровень 0.
На счетчике 564ИЕ10 можно собрать делитель частоты с коэффициентом деления от 2 до 15.
Рис.1. Графическое изображение Рис. 2. Временная диаграмма
МС 564ЕИ10 работы счетчика 564ИЕ10
- Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10
- Формирование партии пластин.
- Гидромеханическая отмывка пластин.
- Химическая обработка.
Смесь Каро (H2SO4+H2O2), перикисьно-амиачная смесь.
Оборудование — линия “Лада 125”.
- Окисление 1.
Установки СДОМ, АДС. Температура 1000ОС. О2+пар.
- Фотолитография. Формирование области р-кармана.
5.1. Нанесение фоторезиста.
Фоторезист — ФП383. Установка ХБС.
5.2. Совмещение экспонирования пластин ЭМ — 576А.
5.3. Проявление фоторезиста.
Проявитель — едкий калий.
5.4. Дубление фоторезиста.
Установки “Лада”.
5.5. Травление окисной пленки.
Буферный травитель.
5.6. Контроль.
- Ионное легирование. Бор 1.
“Карман”. Установка “Лада 30”.
- Снятие фоторезиста.
7.1. Плазма. Установка “08 ПХО 100Т-001”
7.2. Смесь Каро.
- Химическая обработка.
- Разгонка бора. “Карман”.
Температура 1200ОС. О2+азот.
- Вторая фотолитография.
Формирование областей сток- исток р-канальных
транзисторов и р+-охраны.
- Ионное легирование. Бор 2 .
Сток- исток. Установка “Везувий-3М”.
- Снятие фоторезиста.
Плазма и смесь Каро.
- Химическая обработка.
- Разгонка бора. Сток- исток.
Температура 1000ОС, О2+пар.
- Третья фотолитография.
Формирование областей сток- истока n-канальных
транзисторов и n+-охраны.
- Химическая обработка.
- Загонка фосфора (диффузионный метод).
Температура 900ОС. Диффузант — POCl3.
- Снятие фосфорселикатного стекла.
HF : H2O =1 :10.
- Разгонка фосфора.
Температура 1000ОС. О2+пар.
- 4Я фотолитография.
Вскрытие областей под затвор и контактные окна.
- Окисление 2 — подзатворный диэлектрик.
Температура 1000ОС. О2+HCl.
- Стабилизация фосфора.
Температура 900ОС. Диффузант — POCl3.
- Подлегирование.
- Отжиг подзатворного диэлектрика.
- 5Я фотолитография.
Вскрытие контактных окон.
- Химическая обработка.
- Напыление Al+Si.
Установка “Магна 2М”.
- 6Я фотолитография.
Формирование алюминиевой разводки.
- Вжигание алюминия.
Температура 475ОС в азоте.
- Нанесение защитного окисла.
Температура 400ОС. SiH4+O2.
Установка “Аксин”.
- 7Я фотолитография.
Вскрытие контактных площадок.
- 8Я фотолитография.
Защита пластин фоторезистом.
- Контроль ВАХ (пробивное напряжение, пороговое напряжение, прямое напряжение и др.).
- Контроль электрических параметров.
- Контроль внешнего вида.
- Операция спецокисление
2.1.1 Оборудование.
- система диффузионная (см табл. 1)
- стол монтажный СМ-4 А2МО 238 001 ТУ
- реактор кварцевый Æ07-0397
- реактор кварцевый Æ07-0541
- крючок кварцевый Æ09-1067
- лодочка кварцевая Æ09-1216
- подставка Æ09-1215
- стаканчик СВ24/70 ГОСТ 25 336-82
- пинцет ПС 160х3.0 ТУ 64-1-37-78
- пинцет Æ09-1114
- часы электрические вторичные показывающие ВЧС2-М2ПВ-400-323К ТУ 25-67-1503-82
- пластина кремния 7590592 10300 00022
- пластина кремния спутник 7590592 10300 00022
- водород хлористый сжиженный марки Э ТУ 6-01-4689387-42-90
- спирт этиловый ректификованный технический марки “Экстра” ГОСТ 18300-87
- кислород СТП ТВО 054 003-89
- азот СТП ТВО 054 003-89
- напальчники типа II вида Б№4 ТУ 38.106567-88
- салфетка из мадаполама (350х253) мм 7590592 10301 00043
- салфетка из батиста (150х150) мм 7590592 10301 00045
- пленка полиэтиленовая марки На, полотно, 0,040х1400, I сорт ГОСТ 10354-82
2.1.2 Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.
2.1 Подготовку рабочего места и организацию трудового процесса проводить в соответствии с требованиями табл. 1.
2.2 Технологическую операцию осуществлять с соблюдением требований ТВО 045 954 ИОТ, 17.25351.00003 ИОТ, ТВО 045 829 ИОТ, ТВО 045 982 ИОТ.
2.3 Соблюдать требования производственной гигиены по СТП 17-001-90.
2.4 Параметры микроклимата должны соответствовать СТП 17-001-90: (1000,10000; 22±2; 50±10).
2.5 Время межоперационного хранения пластин должно соответствовать требованиям СТП 17-097-88.
2.6 Проверить наличие вытяжной вентиляции на системе диффузионной, в специальном шкафу для хранения баллона перед началом работы с хлористым водородом. Производить работу с хлористым водородом при выключенной вентиляции запрещается. При отключении вентиляции немедленно закрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом.
2.7 Продуть кварцевый реактор, оснастку хлористым водородом с расходом(10-15) л/час не менее 30 минут:
1) вначале первой смены;
2) после смены оснастки, трубы;
3) замены баллона с хлористым водородом;
4) если время между процессами превышает 24 часа, с последующей продувкой азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.
2.7.1 Перед включением хлористого водорода продуть линию
подачи магистральным азотом не менее 10 минут с расходом
согласно таблице 2.
2.7.1.1 Включить подачу азота, регулируя расход натекателем на ротаметре.
2.7.1.2 Открыть вентиль подачи азота на линию хлористого водорода (вентиль с маркировкой “N2”).
2.7.1.3 Открыть вентиль с маркировкой, установить расход (10-15) л/час натекателем на ротаметре. Регулировать давление в магистрали при необходимости редуктором низкого давления .
2.7.1.4 Выключить продувку азотом, перекрыть вентиль с маркировкой “N2”.
2.7.2 Выставить необходимый расход кислорода согласно табл. 2.
2.7.3 Открыть в вытяжном шкафу вентиль на баллоне с хлористым
водородом поворотом вентиля против часовой стрелки.
2.7.4 Подать хлористый водород в систему, повернуть вентиль
редуктора по часовой стрелке.
2.7.5 Проверить расход по ротаметру для подачи хлористого
водорода в реактор.
2.7.6 Перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом
поворотом вентиля по часовой стрелке, если расход
хлористого водорода выходит за допустимые пределы и
повторить переходы п.п. 7.1-7.1.4.
2.7.7 Если не устанавливается необходимый расход хлористого
водорода при повторном включении п.п. 7.3-7.5, закрыть
вентиль на баллоне, продуть систему азотом и сообщить об
этом технологу, мастеру или начальному участка.
Категорически запрещается во время работы с хлористым
водородом производить регулировку давления в линии с
хлористым водородом.
2.8 Менять кварцевые реакторы при отрицательных результатах по напряжению отсечки, не реже одного раза в квартал.
2.9 Проводить контрольный процесс, выполняя требования технологической инструкции согласно табл. 1, после смены баллона с хлористым водородом, после смены оснастки реактора и перед каждым процессом, если время между процессами превышает 24 часа.
2.10 Проводить процесс без использования экранных пластин.
2.11 Проводить оценку контрольного процесса по напряжению отсечки согласно вольт-емкостных характеристик по ТВО 336 568 ТК, 17.60303.00002.
В случае отклонения от нормы напряжения отсечки, указанный в таблице 2, продуть реактор, оснастку хлористым водородом, провести повторно контрольный процесс, а при отрицательных результатах сменить реактор, оснастку.
2.12 Фильтры для очистки хлористого водорода заменять ежемесячно с отметкой о сроке замены и росписью наладчика в журнале.
2.1.3 Технологический процесс.
3.1 Провести технологический процесс, выполняя переходы технологических инструкций согласно табл. 2, в соответствии с требованиями таблицы режима соответствующего процесса. Во время процесса следить за расходом хлористого водорода, кислорода.
3.2 По окончании технологического процесса:
1) перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке.
2) переключить вентиль на редукторе поворотом против часовой стрелки.
3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.
3.3 Произвести измерения толщины окисла в соответствии с требованиями 17.25202.00004 в трех точках пластины-спутник. Толщина окисла должна соответствовать норме, заданной в таблице 2.
3.4 Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.
- Годные пластины передать на следующую операцию.
2.2 Операция удаление фоторезиста в смеси Каро
2.2.1 Оборудование.
- установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212
- нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173
- кассета Æ07-0518
- тара межоперационная ЩИТ – 725
- пинцет Æ09-1114
- держатель Æ03-0767
- стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73
- нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73
- термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90
- пластина со структурами 17.10201.00024
- водорода перекись 17.10201.00022
- кислота серная 17.10201.00024
- вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02
- спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87
- перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88
- салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01
- салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02
Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси Каро).
2.2.2 Требования безопасности.
2.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:
1) химические ожоги;
2) отравления;
3) электроопасность;
4) термоопасность;
5) порезы.
2.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.
2.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.
2.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.
2.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.
- Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.
- Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на
установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых
перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.
- На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся
денной операции, наличие органических веществ и других
реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода
является сильным окислителем.
2.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.
2.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.
В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.
2.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.
2.2.3 Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.
3.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.
3.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.
Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.
3.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.
Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.
3.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.
На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.
3.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.
3.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.
3.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4±1) л/мин на одну установку.
3.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.
- Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода,
открыв кран на передней панели установки с надписью перекись
водорода на 1-2 с. Закрыть кран.
- Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на
передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней
отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
- Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран
на передней панели установки с надписью перекись водорода, до
нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.
- Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на
передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней
отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
- Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью
стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.
- Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей
ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со
смесью Каро) 3 минуты.
3.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.
3.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65±5)0С.
Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.
3.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции. Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.
3.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.
2.2.4 Технологический процесс.
4.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.
4.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150±10)0С.
При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.
4.3 Открыть крышки ванн.
4.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.
В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.
Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.
4.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.
Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.
4.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.
4.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.
При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.
4.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро.
4.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.
4.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.
После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро (200±50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.
4.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.
4.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.
4.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.
4.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.
4.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом·см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.
4.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 по окончании отмывки пластин.
4.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.
4.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.
4.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) 0С.
Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.
4.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.
4.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.
4.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.
- Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.
- Контроль электрических параметров кристалла
- Оборудование
- система измерительная Н2001 (“Интеграл”);
- зонд измерительный ОМ6010;
3.2 Алгоритм программы разбраковки
Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл. 4.
Список литературы
- Технологический маршрут изготовления кристаллов 564ИЕ10.
.
Табл. 1.
Наименование оборудования | Обозначение | Обозначение документа |
Система диффузионная многотрубчатая СДОМ 3Л00 | ДЕМ1 055 009 | 17.25001.00006 |
Система автоматизированная диффузионная АДС6-100 | ДЕМ1 055 001 | 17.25001.00042 |
Табл. 2.
Температура рабочей зоны печи С0, ±1 | Номер интервала | Время, мин. | Наименование временного интервала | Шифр команд | Расход газов л/час
О2 ±30 N2 ± 30 HCl* |
Толщина окисла, А | ||
1 | 12±1 | Загрузка | 9,13 | 270 | – | – | ||
2 | 10±1 | Рабочий режим | 9 | 270 | – | – | ||
3 | 0.3¸0.5 | Сигнализация | 9,12 | 270 | – | – | ||
4 | 90±40 | Рабочий режим | 9 | 270 | – | 10-15 | ||
1000 | 5 | 0.3¸0.5 | Сигнализация | 9,12 | 270 | – | 10-15 | 800¸1100 А |
6 | 10¸90 | Рабочий режим | 6 | – | 300 | – | ||
7 | 12±1 | Выгрузка | 6,14 | – | 300 | – | ||
8 | 0.3¸0.5 | Сигнализация | 6,12 | – | 300 | – | ||
9 | Между процессами | Продувка | 9 | 270 | – | – |
Рис.3.
Табл. 3.
Наименование элементов структуры | условное обозначение | тип
пр-ти |
материал слоя
наименование ГОСТ, ОСТ, ТУ |
сопротивление
слоя rs=Ом/ |
толщина слоя, глубина диффузии мкм | |
защитный слой | Н1 | – | SiO2 термический | – | – | 0.4±0.05 |
диффузионный карман n-канальнх транзисторов | Н2 | p | трехфтористый бор | ОСТ 6-02-4-83 | 750-1500 | 9±1.5 |
защитный слой | Н3 | – | SiO2 термический | – | – | 0.3±0.05 |
области стока, истока | Н4 | p+ | трехфтористый бор | ОСТ 6-02-4-83 | £110 | 1.7±0.5 |
защитный слой | Н5 | – | SiO2 термический | – | – | 0.4±0.05 |
области стока, истока | Н6 | n+ | фосфор-хлор окись | ТУ-09-3537-85 | £40 | 2±0.5 |
защитный слой | Н7 | – | SiO2 термический | – | – | 0.35±0.05 |
диэлектрик затвора | Н8 | – | SiO2 термический | – | – | 0.1+0.01-0.02 |
контактные окна | – | – | – | – | – | – – – – – – – |
контактные площадки и проводники | Н9 | – | заготовки 270х120х28 | Яе 0.021,157 ТУ | – | 1.2±0.1 |
защитный слой | Н10 | – | смесь газовая аргона с моносиланом
фоторезист ФП-383 |
ТУ6-02-1228-82
ТУ6-74-632-86 |
–
– |
0.8±0.1
1.3±0.2 |
Табл. 4. Нормы параметров 564 ИЕ10
наименование | нормы цеха | погрешность | режим измерения | номер | ||||||
параметра | не менее | не более | % | Ucc,B | Uo,B | Uoпор,B | UIпор,B | UIa,B | UIH,B | теста |
проверка контактир.,В | – | /-2/ | – | – | – | – | – | – | – | 1-16 |
Uпроб,B | 15.0 | – | ±5 | – | – | – | – | – | – | 17,18 |
IIa,мкА | – | 0.06 | ±40 | 15 | – | – | – | 0 | 15 | 51-56 |
IIH,мкА | – | 0.06 | ±40 | 15 | – | – | – | 0 | 57-62 | |
Icc,мкА | – | 8.0 | ±5 | 15 | – | – | – | 0 | 15 | 63-93 |
Ioa,мА | 1.35 | – | ±5 | 10 | 0.5 | – | – | 0 | 10 | 27-34 |
Ioa,мА | 0.53 | – | ±5 | 5 | 0.4 | – | – | 0 | 5 | 19-26 |
IoH,мА | 0.75 | – | ±5 | 10 | 9.5 | – | – | 0 | 10 | 43-50 |
IoH,мА | 0.63 | – | ±5 | 5 | 5 | – | – | 0 | 5 | 35-42 |
Uоa,B | – | 0.008 | ±40 | 10 | – | – | – | 0 | 10 | 102-109 |
UoH,B | -0.008 | – | ±40 | 0 | – | – | – | -10 | 0 | 110-118 |
Uoa max,B | – | 0.6 | ±5 | 5 | – | 1.7 | 3.3 | – | – | 119-127 |
UoH min,B | 4.65 | – | ±5 | 5 | – | 1.7 | 3.3 | – | – | 128-134 |
Jcc,мкА | – | 5.0 | – | – | – | – | – | – | – | 94,96,98,100 |
Jcc,мкА | 5.0 | – | – | – | – | – | – | – | – | 95,97,99,101 |
Нашли опечатку? Выделите и нажмите CTRL+Enter