Основные материалы микроэлектроники, применяемые в процессе ее развития

ОСНОВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ПРОЦЕССЕ ЕЕ РАЗВИТИЯ

Содержание

Введение

1. Основные этапы развития электроники

1.1. Основная тенденция развития микроэлектроники

1.2. Кремний и углерод как основные материалы технических и живых систем

2. Основные материалы микроэлектроники

2.1 Физическая природа свойств твёрдых тел

2.2. Ионные и электронные полупроводники

2.3. Новые перспективные материалы для електроники

Выводы

Литература

Введение

Бурное развитие радиоэлектронной аппаратуры не могло происходить без
существенного улучшения её параметров. В радиоэлектронике и электронной
технике появилось новое, успешно развивающееся направление –
микроэлектроника. За сравнительно короткий исторический отрезок времени
(первый транзистор был изготовлен в 1948 году, первая интегральная схема
– в 1958 году) микроэлектроника стала ведущим направлением, определяющим
прогресс в развитии радиоэлектронной аппаратуры.

Твердотельная электроника – это новое научно-техническое направление,
которое посредством физических, химических, схемотехнических и
технологических методов и приёмов решает проблему создания
высоконадёжных электронных устройств.

В качестве основных конструкционных материалов в микроэлектронике
используются полупроводники, металлы и диэлектрики. В данном реферате
рассмотрены основные материалы, которые нашли применение в
микроэлектронике.

1. Основные этапы развития электроники

В 1948 г. весь потенциал твёрдотельной электроники скрывался в
единственном экспериментальном образце транзистора, действие которого
было не понятно даже его творцам. Через 10 лет твёрдотельные приборы уже
выиграли сражение с лампами за вычислительную технику и породили объект
нового поколения – организованное скопление транзисторов в одном
кристалле, называемое интегральной микросхемой.

Современный кристалл массой в десятки миллиграммов обладает значительно
большей вычислительной производительностью, чем первые ЭВМ с массой в
десятки тонн.

Микроэлектроника – это способ организации электронных процессов, который
позволяет обрабатывать информацию в малых объёмах твёрдого тела. И
идеальной целью является система, сочетающая совершенство организации
мозга с быстродействием твёрдотельных процессов.

Взаимопроникновение процессов разработки, синтеза, функционирования и
деградации в перспективе ведёт к схеме реализованной природой в
биосистемах. При этом в микроэлектронике технология приобретает
функциональное значение и определяет принципиальные возможности систем.

Точные информационные системы создаются методами физико-химической
технологии. Ещё в 1874 г. Браун открыл выпрямляющее свойство контакта
металл-полупроводник (PbS), и приборы этого типа даже получили довольно
широкое распространение в последней четверти прошлого века. Но
изобретение вакуумного диода (1904, Флеминг) и триода (1906, Ли де
Форест) положило конец этой эре полупроводников. Настоящее время
полупроводников наступило только в 50-х годах после изобретения
транзистора, при этом уместно вспомнить работы Лишенфильда, который ещё
в 1925 году высказал идею возможности создания полевого транзистора.
Однако первым в 1948 году Бардиным, Браттейном и Шокли был создан
биполярный транзистор, а спустя 10 лет был реализован и полевой
транзистор.

1.1 Основная тенденция развития микроэлектроники

Современная технология микроэлектроники основана на двух принципах:
последовательном формировании тонких слоёв или плёнок при определённых
режимах и создании топологических рисунков с помощью микролитографии.
Технологические основы этих принципов уходят вглубь веков.

Одним из функциональных вопросов технологии является вопрос можно ли
полностью устранить механические совмещения и осуществить синтез
твёрдотельной структуры в едином физико-химическом процессе. Те
сведения, которыми мы сегодня располагаем относительно материалов,
физико-химической технологии и физических принципов не позволяют дать
положительный ответ. Однако развитие живой природы (генетический код),
история развития техники говорит о том, что такое решение возможно. Но
радикальные изменения в технологии всегда сопряжены с новой физикой,
новыми материалами и новой элементной базой.

Основная тенденция микроэлектроники, устойчиво сохраняющаяся уже более
40 лет – повышение степени интеграции N. Перспективность этой тенденции
обусловлена тем, что при отлаженном серийном производстве стоимость
изделий практически не зависит от их сложности и определяется в основном
производительностью оборудования. Повысить степень интеграции N можно за
счёт уменьшения размеров элементов или за счёт увеличения размера
кристалла. Оба эти способа успешно реализуются на практике.

Здесь уместно отметить, что реальные машины создавали электротехники,
ламповые – радиоинженеры, транзисторные – специалисты по физике твёрдого
тела и твёрдотельной электронике, ЭВМ на малых микросхемах – специалисты
по логическому проектированию, ЭВМ на больших интегральных микросхемах –
специалисты по системотехнике.

1.2 Кремний и углерод как основные материалы технических и живых систем

Кремний был единственным материалом, раскрывшим потенциал твердотельной
интегральной схемотехники, и он остаётся практически единственной
основой планарной технологии до настоящего времени. Несмотря на
многообразие новых материалов и новых принципов, кремний и сегодня
широко используется.

Среди полупроводников у кремния есть единственный серьёзный соперник –
арсенид галлия. Обладая более высокой подвижностью носителей, GaAs
позволяет достичь в 5 раз более высоких пределов быстродействия.
Полуизолирующий арсенид галлия открывает путь к эффективной
внутрисхемной изоляции, а как следствие – к более низкой мощности
рассеяния, чем у кремния. Кремний не позволяет реализовать излучающие
диоды, но он обеспечивает фотоприёмными системами весь видимый и близкий
ИК-диапазоны.

Наконец, существует ещё два сильных фактора: доступность материала и его
нетоксичность для человека. Кремний полностью удовлетворяет обоим
критериям. Приведём данные распространённости в земной коре наиболее
часто используемых материалов микроэлектроники: Si – 26,0%, Al – 7,45%,
C – 0,35%, P – 0,12%, Gd – 7,5?10-4 %, As – 5?10-4%, Ge – 4?10-4%, Ga –
1?10-4%.

И так, сегодня монокристаллический кремний – основа активной структуры
СБИС, поликремний – связи и сопротивления, окисел и нитрид кремния –
идеальные диэлектрики, а также оптические волноводы. Кремний
используется для чувствительных датчиков давления.

Кремний и углерод находятся в 4 группе периодической системы. Углерод
служит основой жизни биосистем, а кремний основой “жизни”
кристаллических информационных систем. Таким образом мыслящие C-системы
дополняют себя быстродействующими Si-системами.

2. Основные материалы микроэлектроники

2.1 Физическая природа свойств твёрдых тел

Бурное развитие радиоэлектронной аппаратуры не могло происходить без
существенного улучшения её параметров. В радиоэлектронике и электронной
технике появилось новое, успешно развивающееся направление –
микроэлектроника. За сравнительно короткий исторический отрезок времени
(первый транзистор был изготовлен в 1948 году, первая интегральная схема
– в 1958 году) микроэлектроника стала ведущим направлением, определяющим
прогресс в развитии радиоэлектронной аппаратуры.

Твердотельная электроника – это новое научно-техническое направление,
которое посредством физических, химических, схемотехнических и
технологических методов и приёмов решает проблему создания
высоконадёжных электронных устройств.

В качестве основных конструкционных материалов в микроэлектронике
используются полупроводники, металлы и диэлектрики. Исторически различия
между металлами, полупроводниками и диэлектриками связывалось с
особенностями электропроводности этих тел. К металлам относили вещества,
имеющие удельную проводимость, измеряемую величинами порядка 104
(Ом?см)-1 . Вещества, имеющие удельную проводимость в пределах 10-7
(Ом?см)-1 и меньшую, относили к диэлектрикам. Все материалы, которые
имели удельную проводимость в пределах 104 / 10-7 (Ом?см)-1, считались
полупроводниками. С физической точки зрения такое определение не
является достаточно точным. Например, с помощью введения примесей можно
увеличить электропроводимость полупроводников на несколько порядков,
сделав её по величине соизмеримой с проводимостью металлов, но при этом
они не станут металлами. От металлов полупроводники отличаются не
величиной, а характером зависимости удельной электрической проводимости,
прежде всего, от температуры.

2.2 Ионные и электронные полупроводники

В природе существует два типа полупроводниковых веществ: ионные
полупроводники и электронные полупроводники.
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Рис. 2.1. Образование двухкомпонентных полупроводников

Сегодня ионные полупроводники не получили широкого распространения в
технике, так как при прохождении через них электрического тока
изменяется их состав, структура и форма.

К электронным полупроводникам относятся огромное количество самых
различных веществ. Так как в этих веществах ток переносится электронами,
то при прохождении не происходит переноса вещества и приборы могут
эксплуатироваться длительное время. К числу этих полупроводников
относятся 13 простых веществ: бор B, углерод C, кремний Si, фосфор P,
сера S, германий Ge, мышьяк As, серое олово Sn, сурьма Sb, висмут Bi,
селен Se, теллур Te, йод J. К ним относятся и ряд бинарных соединений
типа AXBVIII-X, где A – элемент группы X, а B – элемент группы VIII-X
(рис. 1.1). Такие соединения как AgCl, CuBr, KBr, LiF и др. типа AIBVII
ещё не нашли широкого применения.

В ближайшее время будут применены соединения типа AIIBVI, среди которых
в первую очередь CdS, CdSe, CdTe, ZnS, ZnO, ZnSe, HgTe, HgSe. Их
свойства сейчас интенсивно изучаются. Наряду с сульфатами, теллуридами и
селенидами очень перспективными материалами являются антимониды,
арсениды, фосфиды, нитриды алюминия, галлия, индия, бора, относящиеся к
типу AIIIBV. Эти элементы уже сегодня являются одними из важнейших
полупроводниковых материалов. Полупроводниковыми свойствами обладают SiC
и SiGe, относящиеся к типу AIVBIV. Полупроводниковые свойства обнаружены
у соединений типа AIVBVI, среди которых PbS, PbSe, PbTe, соединений типа
AIBVI, среди которых CuS, CuO, Cu2O и др. Перспективными представляются
сложные соединения и твердые растворы типа AXB1VIII-XB2VIII-X;
A1XA2XBVIII-X; A1XA2XB1VIII-XB2VIII-X, например, GaAsP, JnGaSb,
ZnCdSeTe. Кроме этих соединений полупроводниковыми свойствами обладает
большое количество более сложных соединений. Наряду с неорганическими
материалами к полупроводникам относятся и органические материалы, такие
как антрацен, фталоцианин, коронен и целый рад других.

2.3 Новые перспективные материалы для электроники

В науке и технике ведётся целенаправленный поиск материалов, обладающих
новыми свойствами. В последние годы учёными интенсивно изучались
структура и свойства таких материалов как серое олово, теллурид ртути,
сплав висмута с сурьмой. Наиболее интенсивные свойства серого олова и
теллурида ртути – это отсутствие запрещённой зоны. Эти материалы относят
к бесщелевым полупроводникам. Запрещённая зона в них отсутствует при
любых воздействиях, не меняющих симметрию кристаллической решётки:
нагрев и охлаждение в определенном температурном интервале, всестороннее
сжатие, введение примесей. Сплавы висмута с сурьмой, наоборот,
приобретают новые свойства при различных внешних воздействиях. Так,
например, под действием всестороннего давления, магнитного поля, при
изменении химического состава этот материал может перейти в состояние,
не имеющее запрещённой зоны. В некоторых сплавах системы висмут-сурьма
под действием мощного магнитного поля образуются экситонные фазы,
которые представляют собой электроны и дырки, объединенные в устойчивые
комплексы, напоминающие атомы водорода и обладающие исключительно
интересными свойствами. Эти свойства сейчас интенсивно изучаются с целью
практического использования.

Выводы

Бурное развитие твердотельной электроники началось с изобретения
транзистора в 1948 г.

Микроэлектроника – это способ организации электронных процессов, который
позволяет обрабатывать информацию в малых объёмах твёрдого тела.

Основная тенденция микроэлектроники, устойчиво сохраняющаяся уже более
40 лет – повышение степени интеграции N.

Кремний был единственным материалом, раскрывшим потенциал твердотельной
интегральной схемотехники, и он остаётся практически единственной
основой планарной технологии до настоящего времени.

Твердотельная электроника – это научно-техническое направление, которое
посредством физических, химических, схемотехнических и технологических
методов и приёмов решает проблему создания высоконадёжных электронных
устройств.

Литература

1. Достанко А.П. Технология интегральных схем. – Мн.: Вышэйшая школа,
1982. – 207 с.

2. Физическое металловедение / Под редакцией Кана Р., вып. 2. Фазовые
превращения. Металлография. – М.: Мир, 1968.

3. Аваев Н.А., Наумов Ю.Ф., Фролкин В.Т. Основы микроэлектроники. – М.:
Радиосвязь, 1991.

4. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных
микросхем. – М.: Высшая школа, 1980. – 450 с.

5. Чистяков Ю.Д., Райкова Ю.П. Физико-химические основы технологии
микроэлектроники. –М.: Металлургия, 1979. – 230 с.

Нашли опечатку? Выделите и нажмите CTRL+Enter